Aviza推出12吋晶圓級離子束沉積系統

半導體設備及製程技術專業供應商Aviza，近日宣佈推出全球第一臺12吋晶圓級離子束沉積系統。第一臺系統已出貨至法國格勒諾伯市的歐洲領先電子學及自旋電子學應用研究中心CEA-LETI-MINATEC。

StratIon fxP將用於研發次世代磁控穿隧接合面（MTJ）的裝置，以應用在包括磁阻式隨機存取記憶體（MRAM）、硬碟驅動讀寫頭或RF元件。該系統也將用於先進CMOS製程的金屬閘極沉積中。除了將該系統出貨，CEA-LETI外與Aviza簽署了一項三年的聯合發展計劃，內容包括未來MRAM和自旋電子裝置將會用到的MTJ沉積製程研發。