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搜尋「光阻」,共 155 筆

2026 年,波斯灣動盪與荷莫茲海峽封鎖危機,讓全球產業上游與中東能源、電子化學材料之間的脆弱紐帶無所遁形。對佔據全球先進制程關鍵地位的臺灣半導體產業而言,這場危機促使業界重新審視「供應鏈多維度韌性」與「在地化供應」的重要性;國際電子化學大…

先進半導體微影持續微縮,奈米結構能否在檢測過程中維持完整,成為材料開發與製程驗證的重要關卡。國研院國儀中心攜手汎銓科技,開發低於100℃的原子層沉積(ALD)鍍膜技術,在高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)微影使用的金屬氧化物光阻(…

隨著AI晶片朝Chiplet、HBM堆疊及3D先進封裝發展,半導體製程對晶圓潔淨度、表面形貌與精密量測的要求持續提高。半導體設備業者ACM Research與Wooptix近日於SEMICON West揭露最新技術布局,顯示清洗、沉積及晶圓…

AI晶片推升先進製程需求,半導體微縮競賽正由既有EUV邁向High-NA EUV。ASML最新High-NA曝光設備單價約4億美元,約為現行EUV兩倍,然而隨著Intel、台積電、三星及SK海力士陸續確認或規劃導入,High-NA已逐步由研…

先進半導體微縮競爭從EUV曝光設備延伸至光阻、光罩與量測材料。日本王子控股(Oji Holdings)與imec合作開發的木質生質光阻,透過High-NA EUV曝光已成功形成10奈米線寬及16奈米孔洞圖形,鎖定A14世代製程,更重要的是不…

全球半導體技術正由傳統的二維平面微縮,全面加速跨入高密度立體堆疊時代。隨著晶片互連結構更為精細、多晶粒整合面積與厚度增加,製程中的應力翹曲、介面平坦化與良率控制已成為關鍵瓶頸,使先進封裝材料從單純的輔助耗材,轉型為決定 AI 系統整體效能與…

AI、高效能運算(HPC)與先進製程持續推升電子級化學品需求,台塑進一步將石化原料優勢延伸至半導體關鍵材料。台塑宣布與日本大賽璐(Daicel Corporation)合資成立「台塑大賽璐精密化學」,鎖定半導體製程使用的電子級光阻稀釋劑,預…

受惠於生成式AI帶動伺服器升級,已使相關半導體需求從單一運算晶片,擴展為涵蓋GPU、AI ASIC、HBM等不同元件的完整系統,以及對於半導體先進封測製程的產能,進一步加速前後段半導體設備為此升級轉型。 從前段製程的微影、蝕刻、薄膜沉積、離…

迎接埃米時代對晶圓潔淨與先進製程穩定性的高度要求,資騰科技在今年3月25~27日舉行的SEMICON China展示各項先進製程解決方案。其中CMP(Chemical Mechanical Polishing,化學機械研磨)超潔淨空氣PVA…

國家科學及技術委員會第29次園區審議會日前核准多項重大投資案,涵蓋半導體先進封裝、AI光互連技術及精密化學材料等關鍵領域,總投資金額逾20億元。本次審議通過包括三福化工、美商艾爾光 (Ayar Labs)、和大芯科技等指標性廠商進駐,展現台…

在AR裝置朝向輕量化、高亮度與高對比顯示快速演進之際,光學元件邊緣反射控制成為影響成像品質的關鍵製程。DELO推出一套完整的紫外光固化邊緣黑化系統,將高吸光塗層材料、噴射點膠設備與固化製程整合為完整解決方案,鎖定AR波導及高階光學元件的自動…

韓國半導體產業再度吹起擴張號角。根據報導,韓國兩大晶片製造商近期針對先進製程與記憶體產能展開大規模投資,帶動整體供應鏈期待升溫,形成一股向外擴散的產業活水。這不僅象徵南韓企業在地緣競爭與 AI 商機面前全力應戰,更可能改寫東亞半導體市場格局…

對於台灣機械設備與材料產業而言,這既是被動應對全球變動的必要策略,也是主動從「設備/材料出口」轉型為「高階封裝整合生態系統供應商」的千載機會。…

印度正加速打造半導體生態系。近期聯邦內閣再度核准 4 項半導體專案,將全國獲批案總數推升至 10 項,累計投資約達 1.6 兆盧比(約 182 億美元),據稱分布於奧里薩、安得拉邦與旁遮普等地,政策訊號明確:以財務補貼與基礎設施配套,吸引國…

人工智慧(AI)正成為推動先進晶片製造的關鍵力量。一篇最新的技術評論指出,「逆向微影技術」(Inverse Lithography Technology, ILT)在AI的加持下,正迅速崛起為克服半導體物理極限的核心解決方案。此技術透過顛覆…

選錯量測分析手法,可能讓你產品良率下滑、製程誤判、重工延宕,甚至導致整批報廢。隨著AI晶片、CoWoS、HPC等先進製程快速推進,每個關鍵工序都依賴高精度的表面形貌量測。…