國研院攜手汎銓突破低溫鍍膜 強化先進微影分析 (2026.10.27)
先進半導體微影持續微縮,奈米結構能否在檢測過程中維持完整,成為材料開發與製程驗證的重要關卡。國研院國儀中心攜手汎銓科技,開發低於100℃的原子層沉積(ALD)鍍膜技術,在高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)微影使用的金屬氧化物光阻(…
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先進半導體微影持續微縮,奈米結構能否在檢測過程中維持完整,成為材料開發與製程驗證的重要關卡。國研院國儀中心攜手汎銓科技,開發低於100℃的原子層沉積(ALD)鍍膜技術,在高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)微影使用的金屬氧化物光阻(…
國研院日前公布第五屆「研發服務平台亮點成果獎」得主,其中特優獎由陽明交通大學電子研究所曾銘綸助理教授團隊奪得,研究題目為「半導體超穎介面與矽光子、紫外光電及生醫檢測之應用」,並獲頒獎金30萬元。此次成果的核心,在於善用國研院台灣半導體研究中…
為響應政府積極推動生技醫療產業,台大SPARK計畫師法美國生技產業發展聚落的搖籃Stanford SPARK 課程、培訓模式及顧問專家,並藉由生技整合育成中心,進行生醫與醫材轉譯加值的人才培訓。至今剛執行兩年,將發表兩件新創醫療器材產品,提…