MEMS是一种微机电系统，而MEMS感测器则是透过微机电的制程，将微型电路与机械结构整合于同一晶片上，来进行感测功能的一种元件。 MEMS技术透过半导体的光刻、腐蚀、薄膜等制程，来实现毫米甚至微米等级的感测器尺寸。也正由于采用的是半导体制程技术，使得MEMS感测器可以大量生产，且良率也稳定，也可以达到压低生产成本的目的。

目前智慧电子产品已经成为市场趋势，随着智慧物联网产品与整机制造市场的稳定带动，对于感测器的应用需求开始偏向微型化、智慧化、低功耗、高整合、以及低成本，并且必须能大量生产。在这些条件下，MEMS感测器成为了解决市场需求的最佳解答，因此近年来也带动了MEMS感测市场一波高速的发展契机。

MEMS感测器的多元应用
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