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原子層沉積技術應用實務
 

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開始時間﹕ 一月二十三日(五) 09:00 結束時間﹕ 一月二十三日(五) 16:30
主辦單位﹕ SumKen
活動地點﹕ 台北市南京東路三段9號11樓
聯 絡 人 ﹕ 聯絡電話﹕ (02)25364647#489
報名網頁﹕ http://www.sumken.com/tw/eventDetail.do?parameter=OH28012015
相關網址﹕

本課程針對工業領域探討「原子層沉積技術」的應用結合，包含半導體製程、光電元件、OLED領域、太陽能電池，其具備原子級薄膜厚度控制和高階梯覆蓋率等優點，可有效解決半導體奈米製程問題，同時可使用於MEMS和奈米粒子等複雜結構所需要的均勻薄膜覆蓋沉積。

 
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