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imec发布一款微型光机系统技术 (MOMS) 的压力感测器
 

【CTIMES/SmartAuto 报导】   2017年10月04日 星期三

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奈米和数位技术研究与创新中心 imec 在 imec 科技论坛 (ITF) 医疗大会上,发布了一款基於微型光机系统技术 (MOMS) 的压力感测器。该款感测器能在大压力范围下展现出色的测量精度,且具有体积紧凑、抗电磁干扰 (EMI) 等特性及多工功能,可用於需要高品质感测的应用场合,特别是医疗和生命科学领域。

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压力感测器用於测量如高度和深度等叁数, 或用於目前基於MEMS或光纤技术的流量感测,这些技术各有利有弊。MEMS的压力感测器因为良好的性能和小尺寸而非常受欢迎。光纤传感器适用於恶劣环境,可以透过EMI或高温来表徵,但是它们整合度更低,复杂性更高且价格昂贵。

Imec新型的MOMS的压力感测器结合了两者的优势,并具有高精度。 此外,它显示出高抗EMI干扰能力并支持多路复用。imec研究人员已经证明在大范围内的均方根(rms)精度低於1Pa,可以容易地达到100kP。

關鍵字: sensor  imec 
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