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联华林德发表电子材料品牌SPECTRA EM 未来将持续投入电子特殊气体的生产
 

【CTIMES/SmartAuto 編輯部 报导】   2018年09月03日 星期一

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联华林德将在 SEMICON Taiwan 期间发表电子材料品牌 SPECTRA EM。联华林德藉由此全新品牌,对电子特殊气体(ESG)及电子大宗气体的本地生产持续投资,扩充产品组合,以满足台湾和其他地区半导体和面板业者日益增长的需求。联华林德以享誉全球的专业技术,在台湾当地打造一流的团队并根据客户需求持续创新。

以SPECTRA 系列电子级产品为基础,联华林德首次推出 SPECTRA EM 系列的电子材料拥有业界领先的纯度、包装和分析技术。SPECTRA EM 系列内首发产品包括全氟丙??(C3F8)、四氟甲??(CF4)、一氧化碳(CO)、氟氮混合气体、溴化氢(HBr)、六氯乙矽??(HCDS)、三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)。

「此系列产品印证了我们致力於品质、专业技术和合作夥伴的投入。」联华林德唐总经理Alex说,「在过去的 3 年里,为了提供客户最隹的服务,我们实现了将电子特殊气体的生产和技术在地化的策略。SPECTRA EM 产品组合正是实现了我们对於最高品质产品的承诺。」

SPECTRA EM 现已成为业界公认的优质产品组合。SPECTRA-N 氮气产生器为半导体和面板产业的客户提供了弹性、高效能的氮气供应方案;SPECTRA 光刻气体领先推出可靠、精确的氖气与卤素气体混合物,使得深紫外(DUV; Deep UV)光刻能够应用於高性能、高效率制造。

联华林德近期投入两种 SPECTRA EM 新产品的生产,氟气混合气体及溴化氢。

氟气是一种高活性气体,它与 20% 的氮气混合後会产生可用於安全压缩、包装和运输的混合气体,可用於清洁半导体制造设备。联华林德利用其合资夥伴林德集团开发的制氟技术,在台湾扩大氟气混合物生产规模,成为全台湾第一家专为电子产业生产电子级氟气的生产厂。

此外,联华林德也在中国大陆投资建厂,为中国大陆、台湾及整个亚太地区的客户提供全新的电子级溴化氢(HBr)产品服务。联华林德是全球领先的溴化氢生产商和供应商,在美国拥有完整的生产设备。在开发新生产方式的过程中,联华林德透过采用最隹的纯化、分析和包装方法,确保其亚洲客户将拥有符合其特殊品质需求的额外资源和供应产能。溴化氢是一种作用於选择性蚀刻剂的压缩气体,应用於半导体制程中,将其用於去除一种材料物质的同时能保留所需的材料物质不受影响。随着先进制程晶圆制造商为了让电晶体更小、更快速、耗能更低而开始制造 3D 结构晶片,这个制程变得越来越重要。

關鍵字: 电子材料  电子特殊气体  联华林德  SPECTRA EM 
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