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英特格斥资1.8亿升级台湾技术研发中心
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2018年09月03日 星期一

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特用化学原料暨先进科技材料供应商英特格宣布将进一步在台湾投资约600万美元(约新台币1.8亿元),以因应先进制程及关键半导体制程在产量、可靠度及性能方面的需求。英特格为扩大其台湾技术研发中心之功能,导入高灵敏度KLA SP3晶圆检测系统及相关设施,包含Class 10无尘室及ACT12涂布机在内;此外,还进一步扩建其新竹厂房,以增进用於化学机械研磨(CMP)过滤器的奈米熔喷(Nano Melt Blown)滤芯之产能。

英特格斥资1.8亿,於台湾技术研发中心导入高灵敏度KLA SP3晶圆检测工具。
英特格斥资1.8亿,於台湾技术研发中心导入高灵敏度KLA SP3晶圆检测工具。

台湾半导体制造商朝向先进制程发展,因而也越来越需要在其晶圆厂内进行高灵敏度晶圆缺陷检测,以提升产量。台湾技术研发中心此次引进KLA SP3晶圆检测系统,也让英特格在台湾的晶圆检测能力扩展至19奈米。新检测工具的导入,再加上台湾技术研发中心内知识渊博且经验丰富的科学家团队,让英特格得以自行产出晶圆缺陷的数据,以引导新产品开发及改善产品性能。

由於客户致力於改善下一代关键半导体制程,因此其对於CMP过滤的需求也日益增加,尤以英特格的NMB滤芯产品为甚。有监於此,英特格扩大了新竹厂的NMB产线,并透过与台湾工程团队及在地客户的合作,开发及提供更多NMB产品,以协助客户精进其制程,缩短上市时间,在市场取得先机。

近年来,人工智慧、无人车、区块链、物联网等关键应用需要先进节点,而英特格的台湾客户正为此领域的研发先驱。因此,作为材料供应商夥伴,必须不断强化在地开发能力。由於英特格持续投资台湾技术研发中心和本地制造业,因此具备良好能力可成为客户首选的合作夥伴,帮助客户因应当前和未来在产量、可靠度和性能上所面临的重大挑战。

过去28年来,英特格持续不断投资并扩大在台湾的业务,其台湾技术研发中心自2006年成立以来,一直为客户提供研发及分析服务。

除了新竹厂房以外,英特格也於桃园杨梅及湖囗设厂,在地生产、制造商品及提供服务。英特格在本地拥有多元的产品组合,包含CMP及AMC(先进微污染控制)过滤器和高密度聚乙烯(HDPE)桶等各类产品,服务范围则包含泵浦维修、静电吸盘(E-Chuck)镀膜及晶圆清洁等。

關鍵字: Entegris  OCFP 
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