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宜特FSM化镀服务本月上线 无缝接轨BGBM晶圆薄化制程
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2018年09月20日 星期四

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电源管理零组件MOSFET在汽车智慧化崛起後供不应求,为填补供应链中此一环节的不足,在半导体验证分析领域深耕多年的宜特科技,正式跨攻「MOSFET晶圆的後段制程整合服务」,其中晶圆薄化-背面研磨/背面金属化(简称BGBM,Backside Grinding/ Backside Metallization)制程,在本月已有数家客户稳定投片进行量产,线上生产良率连续两月高於99.5%。

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同时为了协助客户一站式接轨BGBM制程,在前端的正面金属化制程(简称FSM)上,除了提供溅镀沉积(Sputtering Deposition,下称「溅镀」)服务外,本月宜特更展开化镀/无电镀(Chemical / Electro-less Plating,下称「化镀」)服务,目前已完成装机後测试并已为部份客户进行小量生产测试。

宜特表示,正面金属化制程(FSM)包括溅镀与化镀服务,宜特是目前市场上少数可同时提供这两项FSM,又能够提供BGBM完整服务业者。

针对溅镀,一直以来都是车用电子和工业电子等追求高品质的高端客户普遍使用的FSM制程,品质表现非常稳定,宜特目前也已通过多个国内外大厂验证,持续稳定投片。

而针对化镀,虽然许多车用电子和工业电子客户多数使用溅镀沉积(Sputtering)技术来进行FSM,但除去车用电子、工业电子外,高端的PC、伺服器、消费性等产业更期??能够使用高性价比的「化镀方式」来进行FSM制程。

宜特表面处理工程事业处研发处协理 刘国儒分析,现阶段客户对於溅镀和化镀的市场需求是平分秋色,甚至高性价比的化镀需求,还略高过溅镀,但目前国内能够提供晶圆级化镀的公司却极为稀少。

刘国儒表示,宜特所建置的的化镀服务已在8月上线,已有数家客户进行试产;而在技术能力上,可同时兼容不同性质的铝金属焊垫 (Al Pad),不管客户的前段晶圆(Foundry)厂所使用的顶层金属(top metal)是纯铝(Al)、铝铜(AlCu)、铝矽铜(AlSiCu),宜特都可以为客户进行前处理後,稳定的为客户成长镍(Ni)、??(Pd)、金(Au),机台上附有线上监测系统,可随时监控最重要的镍浓度与PH值,并自动补充镀液,智慧型的严密监督和控制使得制程维持稳定。

宜特预期,本月化镀服务上线後,将可舒缓目前市场对化镀供给量不足的情况。

宜特进一步表示,透过化镀生产线,加上现有溅镀、BGBM生产线,并衔接子公司创量(旧名标准)的後段测试与DPS(Die Processing Service)生产线,晶圆将可一站式在目前的宜特台湾竹科二厂生产完成,以颗粒的形式出货给客户,大幅降低晶圆在各站间的运送损坏风险,使得客户可以摆脱目前需要「东市买骏马,西市买鞍鞯,南市买辔头,北市买长鞭」四处投片的生产??境。

關鍵字: MOSFET  宜特 
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