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新材料诞 快速提升光罩制作速度
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年02月25日 星期二

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根据外电消息,美国华盛顿大学生物工程学系助理教授Albert Folch发现制造光罩之新材料,效果比现有光罩更佳,成本更为低廉。 Folch所制作光罩,其理论基础架构在微流体(Microfluidic)上,操控微流体主要成份为可食用的色素。

Folch表示,用微流体制作光罩要调整液体颜色,比生产传统光罩简单;稀释色素,透光率就高,加强色素,透光率就降低。微流体光罩是在矽通道中注入不同颜色的色素,以形成光阻剂,可快速改变图案(Pattern),改变光罩时只需变动色素的构成比例。微流体光罩图案改变只需时数秒,更动色素的比例,让色素流经特定点即可。

微流体生产光罩的诀窍,为微流体本身有不易扰动(Turbulence)的特性,此特性让液态的光罩可行性大幅提高,不同色素在微通道中可吸收不同颜色的光,使微流体产出具有灰阶的光罩。

關鍵字: 光罩  微流体  華盛頓大學生物工程學系  Albert Folch 
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