帳號:
密碼:
CTIMES/SmartAuto / 新聞 /
Advanced Energy光纖溫度計確保先進製程溫度更準確
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2021年11月24日 星期三

瀏覽人次:【1005】
  

Advanced Energy致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計採用隨插即用的設計,只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領先市場的OR4000T,而且4100T的溫度測量準確度特別高,溫度範圍也較寬廣,加上內建的多條通道可同時進行讀取,讓讀取速度可以提升至最高水平,因此極適用於先進半導體和相連的薄膜應用。

Advanced Energy 關鍵感測技術及控制系統行銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高溫計一直獲多家半導體OEM大廠採用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先的 Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善,新功能也很多,讓客戶可將製程控制能力和生產力提升至高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品,讓現有的客戶可以輕易為系統換代更新。此外,這款高溫計也可支援EtherCAT、串聯和USB通訊介面。」

由於使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度,因此執行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少,這樣有助於縮小方案大小,也可節省系統成本。此外,每一通道的讀取速度可以高達1kHz,因此熱反應會更快,讓溫度可以更易受控,並確保先進應用的溫度更加一致,相關的應用包括快速熱處理、雷射退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發射可配置波長,因此其準確度、可重複性和可靠性都特別高,而且讀取速度也較快,適用於要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統的熱藕合和其他接觸式的感測器測量方法有時並不十分適用,例如直接接觸會令晶圓受損,也會產生污垢或因為受到熱轉移效應的影響以致出現測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現場測量溫度,準確度在正負1.5℃之內。此外,4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產生的問題,而且對於某些應用來說,例如,正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速度(ramp rate)研磨處理中的晶圓,4100T是個理想的解決方案。

關鍵字: 摩爾定律  先進製程  Advanced Energy 
相關新聞
美光科技與聯華電子宣佈全球和解
盛美半導體晶圓級封裝濕法去膠設備獲IDM大廠重複訂單
新思擴大與台積電策略合作 擴展3D系統整合解決方案
工研院與英國牛津儀器合作 推進半導體先進量測
盛美半導體設備獲得兆聲波清洗設備DEMO訂單
comments powered by Disqus
相關討論
  相關新品
mbed
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
Arduino
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
Raspberry Pi
原廠/品牌:RS
供應商:RS
產品類別:PC Board
  相關產品
» 宏觀微電子RT5雙頻段多協議物聯網平台獲得藍牙Mesh認證
» 亞信電子推出最新EtherCAT從站雙核微控制器解決方案
» 貿澤供貨Skyworks收購的Silicon Labs汽車和基礎架構產品
» 聯發科發表無線連網晶片Filogic 130系列 助攻智慧家庭連網
» Astera Labs發表業界首款CXL 2.0 Memory Accelerator SoC平台
  相關文章
» 「5G智慧工廠AIoT系統建置研討會」特別報導
» EV用電池三分天下,逐鹿次世代車用市場
» 日本真能透過TSMC設廠振興半導體產業嗎?
» 貳陸公司(II-VI)以購併、協議串接垂直供應鏈
» 讓ADAS大開眼見 先進行人偵測系統的技術突破
  相關資源
» Power Management Solutions for Altera FPGAs

AD


刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2021 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3
地址:台北市中山北路三段29號11樓 / 電話 (02)2585-5526 / E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw