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Advanced Energy全新射頻電源供應器 滿足新一代蝕刻製程需求
 

【CTIMES/SmartAuto 編輯部 報導】   2021年01月22日 星期五

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電源轉換、測量和控制系統解決方案開發商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器。新產品推出之後,該公司旗艦產品Paramount RF電源供應器系列將會有更多型號可供選擇。

全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。
全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。

Advanced Energy的電漿製程設備電源系統,適用於半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和電漿薄膜製程設備,Paramount HP 10013沿用先進的電漿製程電源技術,且再進一步提升效能。

例如:Paramount HP 10013可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率,這樣的好處是,能以較低的平均功率提供高能脈衝,確保脈衝功率的準確性和可重複性。較高的功率則可提升電漿密度和離子能量,支援更快更深的電漿蝕刻製程步驟,並縮短沉積製程時間,滿足先進的高深寬比蝕刻製程和新一代應用的要求。

Advanced Energy半導體及運算產品資深副總裁Peter Gillespie表示:「目前市場上的許多產品,包括消費產品,娛樂設備、工業製品、電腦系統以及運輸工具,幾乎全部都要採用積體電路。按照這個發展趨勢看,高精度製程設備電源系統的應用將會越來越廣泛。我們的產業必須滿足這些不斷增加的需求,克服各式各樣的挑戰。Advanced Energy的Paramount產品系列率先採用脈衝射頻技術,是業內首系列可量產的全數位射頻電源供應系統。Advanced Energy今次推出更高功率的產品,讓我們的客戶可以利用創新的技術開發更為複雜的三維度系統架構和全新的物料。」

Paramount平台的數位架構可支援精確的電源管理,而且無需更換硬體便可更快將新的功能整合一起。全數位控制功能可以追蹤電漿變化作出動態及即時的偵測,而且可以提供大功率的輸出,並確保效能的可重複性。內建的數位介面可確保平台與其他射頻電源供應器同步作業,也可無縫連接Advanced Energy一系列的Navigator和Navigator II數位匹配網路。

關鍵字: 電源供應器  Advanced Energy 
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