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ETEL精密運動平台Vulcano
 

【CTIMES/SmartAuto 編輯部 報導】   2016年08月15日 星期一

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ETEL推出全新的精密XY運動平台Vulcano,利用三層堆疊方式可與Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模組搭配完成最多9軸應用,X、Y、Z、Tip-Tilt和Theta方向。由於平台的高度整合彈性,Vulcano非常適合用於晶圓的前製程段,例如:微影堆疊量測技術,關鍵尺寸以及薄膜量測等等。機械軸承的設計在XY平面與垂直方向提供極高剛性,允許高加減速度(可達2.5g),最高速度(可達2m/s),優異的雙向重複精度(X軸與Y軸:±250 nm)以及奈米等級的定位穩定性。Vulcano 內建高速高精度控制器AccurET與主動式制振平台QuiET ,能大幅增強精密運動性能。

ETEL全新的精密XY運動平台Vulcano利用三層堆疊方式可與Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模組搭配完成最多9軸應用。
ETEL全新的精密XY運動平台Vulcano利用三層堆疊方式可與Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模組搭配完成最多9軸應用。

主動式制振平台QuiET , 為全新的主動式制振系統(Active Isolation System),能消除平台上因運動而導致的工作台和地面於6個自由度方向的振動。為了滿足半導體產業於高端應用的嚴格需求,ETEL的奈米等級穩定性,可消除99%以上的振動,達成史無前例的優越性能。

歡迎於SEMICON Taiwan 2016國際半導體展期間蒞臨海德漢與ETEL攤位J 2708,實際體驗ETEL精密運動平台Vulcano的優異性能。

關鍵字: 運動平台  三層堆疊  模組  9軸應用  ETEL  製程材料類 
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