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SCREEN Semiconductor Solutions與Leti 擴大合作範圍至涵蓋雷射退火技術
 

【CTIMES/SmartAuto 編輯部 報導】   2016年12月05日 星期一

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SCREEN Semiconductor Solutions和CEA Tech旗下的研究機構Leti已加強合作,將在Leti的基地安裝奈秒級紫外線(UV)雷射退火LT-3100系統,該系統將由總部位於法國的SCREEN旗下子公司Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE)提供。

SCREEN Semiconductor Solutions與Leti擴大合作範圍至涵蓋雷射退火技術
SCREEN Semiconductor Solutions與Leti擴大合作範圍至涵蓋雷射退火技術

Leti執行長Marie Semeria表示:「將SCREEN的奈秒級紫外線雷射退火刀具引進到Leti先進的前工業化設備基礎設施中,將為現場部署當前和未來科技帶來新的創新機會。隨著SOI、CoolCube和奈米線科技的發展,我們在開發新材料性能和超薄膜改性且將熱影響降至最低方面正面臨日益嚴峻的挑戰。利用LT-3100系統將催生帶來技術突破的解決方案,並最終帶動業界開發實用型實物模型。」

SCREEN Semiconductor Solutions總裁Tadahiro Suhara表示:「繼長期與Leti保持成功的共同開發合作之後,我們非常高興能有此機會為Leti的生態系統帶來我們的雷射技術,以因應『超越摩爾定律』(More than Moore)、物聯網和未來創新科技的需要。除了合作活動之外,我們還將利用Leti的先進基礎設施來營運我們的LASSE歐洲示範實驗室,從而賦予我們的客戶前所未有的示範基礎設施能力。我們期望展現奈秒級紫外線雷射設備技術和資源帶來的創新價值,從而在由Leti所支持的多個研發領域推動半導體製程的開發。」

雷射刀具可望於2017年上半年全面投產,並將支援多種晶圓尺寸要求,從而符合Leti實驗室的不同需求。(source: BUSINESS WIRE)

關鍵字: 雷射退火  雷射刀具  半導體製程  奈秒級  紫外線  晶圓尺寸  物聯網  SCREEN Semiconductor Solutions  Leti  製程材料類 
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