據調查機構VLSI Research所公佈的最新調查報告，2002年全球半導體設備市場銷售額減為298億美元，較2001年的393億美元衰退24％。2002年前十大半導體設備供應商，則由應用材料（Applied Materials；應材）與Tokyo Electron Limited（TEL）蟬連前兩名寶座。

儘管半導體設備市場走軟，然前兩大廠商應材與TEL的名次並未受到影響，兩家公司均連續11年蟬聯全球半導體設備銷售冠、亞軍寶座，2002年其銷售額分別為50.8億美元與26.46億美元。排名第三的ASML，則是首次進入前三大，其銷售額為18.75億美元。

以廠商所屬區域來看，美商表現較佳，其合計銷售額達80.6億美元，美商在前十大廠商中，市佔率達50.7％。前十大廠商中，5家日商合計銷售額為59.5億美元，市佔率為37.5％。ASML則是前十大廠商中唯一的歐洲廠商，其市佔率為11.8％