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宜特科技全新高階材料分析實驗室正式營運
 

【CTIMES/SmartAuto 林佳穎 報導】   2010年06月22日 星期二

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宜特科技於日前宣佈,預計於6月9日正式營運全新高階材料分析實驗室。由於奈米材料尺寸不斷微縮,且半導體產業朝高階製程發展的趨勢下,宜特將拓展高階材料分析機台設備,引進穿透式電子顯微鏡(TEM:JEOL JEM-2100F)與雙束型聚焦離子束(Dual Beam FIB:FEI Helios 600)。

在微奈米時代下,先進半導體製程與設計規則相對複雜,往往會因微結構的材料表面受到污染或缺陷,干擾原先產品的設計與特性。隨著全球景氣復甦,半導體製造廠商在先進製程委託設計案(NRE)增加當下,更需仔細且精準的材料分析,然而在業界廣泛運用的傳統掃描式電子顯微鏡(SEM)卻無法解析到原子級距的高分辨率分析。

宜特科技材料分析處陳處長表示,TEM的高解析度達到原子級的0.2nm,Dual Beam FIB則是能分析到22nm製程的產品,這些分析機台對於試片製備的效率與成功率上,將有革命性的進步,也協助客戶縮短產品研發驗證時間。宜特科技掌握到產業脈動,引進先進製程分析服務,解決客戶所需。

宜特科技總經理林正德表示,過去宜特將材料分析服務外包出去,今年要拿回來自己做,所有半導體廠、LED廠與磊晶廠都會用到材料分析服務,我們將秉持服務優質化、品質百分百的理念,提供完善且符合客戶需求之解決方案。宜特目前主要業務為可靠度驗證(RA)、故障分析(FA),而本月新增的材料分析服務將使驗證平台更加全方位與完整。

關鍵字: 宜特科技 
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