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为半导体制造与研究环境的工程人员提供前所未见的效能

【CTIMES/SmartAuto 陳盈佑报导】   2007年04月24日 星期二

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安捷伦科技(Agilent Technologies Inc.)发表专为解决半导体制造与研究环境工程人员之评估需求而设计的新一代参数测试平台。Agilent 4080系列以前所未见的效能,涵盖完整范围之量测需求 - 从主流制程到45奈米以上的先进制程。

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Agilent 4080系列所采用的新平台具备了更快的CPU及同步/异步平行测试能力,有助于大幅提升量测速度。4080系列是一款可扩充的模块式生产测试平台,可让客户轻易地增加新的测试能力,例如NAND/NOR闪存储存单元特性描述和RF S参数量测。该系列共推出三种机型:4082A参数测试系统 - 通用参数测试用;4082F闪存储存单元参数测试系统 - NAND/NOR闪存测试用;以及4083A DC/RF参数测试系统 - 可满足最新RF装置的高频量测需求。

安捷伦科技半导体测试事业部副总裁暨总经理Minoru Ebihara表示:「当我们现有的客户扩大营运规模或建立新的晶圆厂时,Agilent 4080系列可以协助他们解决新一代产品的参数测试挑战。此外,我们很高兴为继续扩展的NAND闪存市场,提供生产就绪(production-ready)测试解决方案。」

Agilent 4080系列具备同业最佳的效能和功能,以及领先业界的技术进展。该系列拥有一颗功能超强的CPU,在不修改程序的情况下,平均可使转移的4070测试计划速度提升10%到20%。

执行Agilent SPECS(Semiconductor Process Evaluation Core Software;半导体制程评估核心软件)测试环境的4080系列,是同时支持同步和异步平行测试的首款参数测试器。除了同步平行量测 - 对少量的装置来说是极有效率的技术 - 之外,安捷伦还新推出功能强大的专属虚拟多测试头技术,其可透过先进的"异步平行"测试能力完全独立地执行测试,比起传统的序列式测试方法最多可减少50%的测试时间。

Agilent 4080系列以一个统一的结构为基础。全部三种机型都支持两种DC切换矩阵卡:标准低电流版和超低电流版。这些仪器还具备高速电容量测单元(HS-CMU),可在1 kHz到2 MHz的范围执行超快的电容量测。

Agilent 4082F闪存储存单元参数测试系统是为了解决闪存储存单元测试的各种挑战而设计,其包含半导体脉冲产生器单元(SPGU)主机和高电压SPGU(HV-SPGU)模块。4082F HV-SPGU具备+/- 40 V输出(80 V峰对峰),能控制脉冲的上升和下降时间(小到20 ns),也能准确控制分辨率小到2 mV的脉冲位准。

Agilent 4083A DC/RF参数测试系统是第一款在测试头整合20 GHz 8x10 RF矩阵之生产参数测试器。4083A RF矩阵在一次连接中最多可量测5个RF结构,透过这项能力不但加快了量测速度,还可因减少接点磨损而延长探测卡的使用寿命。

關鍵字: 測試系統與研發工具 
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