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Advanced Energy新型感測平台拓展高精度溫測系列
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨報導】   2022年07月15日 星期五

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美國Advanced Energy公司為高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案供應商—利用一種新型轉換平台和兩種獨家專屬螢光配方,拓展螢光光纖測溫儀(FluorOptic Thermometry;FOT)解決方案中的Luxtron系列產品。LuxtronM-1000轉換器(帶Rubilux和VioLux螢光配方)可在更大溫度範圍內實現高精準溫度量測,解決先進半導體蝕刻和沉積製程中的一系列難題。

新型Luxtron FluorOptic感測平台(帶RubiLux和VioLux螢光配方)可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。(source:Advanced Energy)
新型Luxtron FluorOptic感測平台(帶RubiLux和VioLux螢光配方)可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。(source:Advanced Energy)

Luxtron M-1000配備新型光源和經過改進的低噪音光探測裝置,具備雙通道能力,低精度誤差(+/-0.2°C),穩定性高出0.05°C,並且,具有操作寬範圍(-200°C至450°C)。該轉換器經過優化,具有兩種螢光配方,可適應全系列溫度範圍。

「對於在創建半導體裝置(比如:3D NAND)中使用的先進高縱橫比(HAR)蝕刻而言,晶圓溫度是其中一項非常重要的工藝參數,」美國Advanced Energy公司精密傳感和控制部門戰略行銷副總裁Jeff Hebb表示:「為優化HAR蝕刻製程,先進的半導體製造商日益轉向更廣的操作溫度(比如從低溫吸盤到加熱吸盤)。通過在更大溫度範圍內實現精準、可重複的量測,M-1000轉換器和新型螢光配方能夠勝任HAR製程量產所要求的的全系列溫度範圍量測。」

Advanced Energy的Luxtron FOT感測系統融合螢光塗層光纖探針和高性能轉換器,該轉換器內建先進光源、光測器專屬軟體演算法和低噪音放大電路系統。在強電磁領域(包括等離子蝕刻和沉積、MRI系統和變壓器)內的各項製程中,由於Luxtron FOT系統所進行的溫度量測基於其光纖傳感,因此,比傳統電子感測器更具備高精度性。

關鍵字: 感測平台  Advanced Energy 
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