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Advanced Energy推出全新10kW脈衝直流電源供應器
 

【CTIMES/SmartAuto 陳玨報導】   2021年12月10日 星期五

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Advanced Energy宣佈推出電漿電源供應器系列新款產品,這款全新的10kW脈衝直流電源供應器除了具有電源和控制功能,而且還預裝PowerInsight by Advanced Energy這套嵌入式製程優化程式。這款 Ascent SMS AP (先進脈衝) 電源供應器配備已註冊專利的脈衝技術,成功將優化的電弧管理和精確的電漿電源控制功能引進到技術要求極為嚴格的薄膜沉積應用之中,其中包括半導體以至太陽能光伏電池生產等方面的應用。

Ascent SMS AP電源供應器具有先進脈衝和電漿電源控制、高效的電弧管理功能,並內建製程特性分析功能,能透過配置優化產量和生產良率。
Ascent SMS AP電源供應器具有先進脈衝和電漿電源控制、高效的電弧管理功能,並內建製程特性分析功能,能透過配置優化產量和生產良率。

這款10kW Ascent SMS AP 電源供應器的外型小巧,但其安全工作區(SOA)範圍極為寬廣,例如峰值電壓高達1200V,而頻率則介於0.5至150kHz之間。這款電源供應器的漸進式電弧管理系統共有4個不同的單元,而且可支援全範圍逆向電壓作業,所儲存的電弧能量最少,而且所提供的電弧參數均可自我調節,讓有關參數可以按照製程步伐靈活調節。其中輸出的先進脈衝(AP)波形可以支援升壓、逆向電壓控制以及先進脈衝整形等功能,以便因應薄膜型態和要求的薄膜特性實現波形的微調。

Advanced Energy 電漿電源產品資深行銷總監 Dhaval Dhayatkar 表示:「Advanced Energy 將會繼續致力於提升脈衝直流電源供應器的效能,確保這系列產品適用於單一磁控濺鍍方面的應用,而且還有舊式產品所無的適應能力。這款全新的10kW Ascent SMS AP 電源供應器充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術,其中包括可高度配置的波形、漸進式電弧管理、優於同級產品的安全工作區(SOA)範圍、寬廣的頻率範圍、以及自有PowerInsight 製程優化軟體,讓客戶可將先進半導體製程技術的精準度、可重複性和生產良率提升至最高的水平。」

這款全新的電源產品是 Advanced Energy 首款預裝了 PowerInsight 製程特性分析應用程式和相關優化軟體的電源供應器。這套PowerInsight軟體可蒐集、分析和轉譯來自關鍵饋電系統的資料,讓用戶可利用這些極為實用的資料優化製程,以提升產量和生產良率,以及減少無法預測的製程設備故障停機時間。由於 Advanced Energy 這系列脈衝直流電源供應器內建 PowerInsight 軟體,因此可減少出現電弧的次數,並可提高沉積率,改善薄膜層的形態和特性。

查詢產品資料和技術規格,請瀏覽www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/pulse-dc-systems/ascent-ap-series

關鍵字: 電源供應器  Advanced Energy 
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