邁向1nm世代的前、中、後段製程技術進展
邏輯元件製程技術藍圖概覽（下）
作者＼愛美科
為了實現1nm技術節點與延續摩爾定律，本文介紹前、中、後段製程的新興技術與材料開發，並提供更多在未來發展上的創新可能。
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