用於檢測裸矽圓晶片上少量金屬污染物的互補性測量技術
作者＼意法半導體
本文的研究目的是交流解決裸矽圓晶片上金屬污染問題的經驗，介紹如何使用互補性測量方法檢測裸矽圓晶片上的少量金屬污染物並找出問題根源，
/art/2021/12/302031224980/p5.jpg
