次世代半導體材料發展趨勢研討會

2007年09月26日 星期三 【科技日報報導】
活動名稱: 次世代半導體材料發展趨勢研討會
開始時間: 九月二十七日(四) 13:30 結束時間: 九月二十七日(四) 16:30
主辦單位: 經濟部工業局
活動地點: 工研院51館4樓國際會議廳-竹東鎮中興路四段195號
聯絡人: 鄭小姐 聯絡電話: 03-5919297
報名網頁:
相關網址: http://www.itri.org.tw/chi/news_events/seminar/showpost-s.jsp?postno=16112&smncd=16112

半導體產業跨入奈米製程後,研發上節點的推進呈現停滯在32nm的狀態,不論是微影製程、清潔(Cleaning & Stripper)、CMP平坦化及電鍍(Copper plating)均嘗試加以突破;而45nm的量產也正在進行 準備當中。

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台灣半導體產業目前處於全球半導體技術發展浪潮的頂端,如何在前期突破技術的限制、結合先進材料的優勢,以取得實值的技術領先及成本降低,實為目前產官學戮力的目標。此研討會特別邀請業界專家,從奈米材料在45nm的技術發展,以及Stripper與Post-CMP Clean的趨勢,共同探討半導體材料的未來發展方向,以提供未來半導體技術發展合宜的解決方案。


關鍵字: 半導體材料   工研院