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ATMI在台磊晶圓服務中心將成立 (2001.01.10)
全球最大磊晶圓供應商先進科材(ATMI) 9日宣布，將於三個月內在台灣成立磊晶圓服務中心（EPI Center），針對台灣晶圓廠客戶於中心將裝置三部磊晶反應器（reactor），未來因市場需求將逐步擴增到增至10部磊晶反應器的規模


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