ASMPT 借助 Renishaw 光学尺技术强化高性能运动控制

在当今半导体产业的奈米级别发展下，後段制程设备面临着精度、生产力和稳定性等挑战。光学尺作为运动控制中至关重要的元件之一，需要不断更新技术并推出新产品，以满足市场的严苛要求。

图一 : ASMPT新加坡总部，图二为Renishaw光学尺系列

总部位於新加坡的 ASMPT 致力开发先进的半导体组装和封装设备，与 Renishaw合作已经超过 25 年，在光学尺产品应用、客制化方案和设备检测方案等领域累积丰富的合作经验；光学尺作为运动控制系统中的重要元件，规格必需不断升级以满足 ASMPT 因应市场的需求。

在选择光学尺产品时，必须要考虑几个关键要素：速度、抖动、光学尺体积，与安全和规性。为了满足这些要求，光学尺厂商需要不断研发创新，以提高速度、降低抖动、减小体积和重量，并确保产品符合相关的安全标准和验证要求。而 ASMPT 多年来采用多款 Renishaw 光学尺产品，从 RGH 到 RESOLUTE 系列，再到近期的 ATOM DX 微型系列和 VIONiC 高性能系列等，应用在不同阶段的後段制程设备上，包括 INFINITE 12 英寸晶片键合机，专为一般 IC 封装而设计。
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