联华气体工业股份有限公司（联华林德）宣布将与半导体先驱物质首屈一指的供应商宇川精密材料股份有限公司（宇川精密）合作，预计在未来两年投资总计新台币九千万元在台南厂区共同开发三甲矽??基涞（Trisilylamine，TSA）生产设备及产线，预计每年生产产能可达3.6吨，计画於2020年第三季投产。

新型的TSA生产设备将采用最尖端的制程，并搭配先进的安全及分析基础设施。考量供应链的应变计画，生产厂区策略性的选在对TSA需求与日俱增的亚洲市场。

TSA主要用於在先进逻辑技术节点及3D NAND位元线主要氧化物填充，它使用FCVD机台来将矽电介质沉积到浅沟槽隔离技术（STI）中。由於3D NAND在存储层中的堆叠层增长，从而增加了存储孔的高度，因此TSA的使用正在成长。

联华林德和宇川精密科技结合双方在化学、制程技术及先进分析上加起来超过三十年的经验，携手开发TSA并预计在2020年第三季量产。联华林德将独家代理此产品的销售，并将其纳入Spectra EM品牌系列，率先以亚洲市场出发，陆续为全球半导体产业的客户提供服务。

在双方正式宣布合作後，联华林德总经理唐静洲先生表示：「我非常荣幸宣布这项新投资，这是本公司对在地生产特殊气体承诺的持续实现。伴随联华林德Spectra EM产品组合，这项投资更能稳定供应我们在台湾、中国及亚洲的电子业客户的需求。」