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Advanced Energy光纤温度计确保先进制程温度更准确
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2021年11月24日 星期三

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Advanced Energy致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司推出一款Sekidenko 4100T 的高温计。这款4100T光纤温度计采用随插即用的设计,只要轻轻一插便可取代 Advanced Energy 一直领先市场的OR4000T,而且4100T的温度测量准确度特别高,温度范围也较宽广,加上内建的多条通道可同时进行读取,让读取速度可以提升至最高水平,因此极适用于先进半导体和相连的薄膜应用。

Advanced Energy 关键感测技术及控制系统行销及应用副总裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高温计一直获多家半导体OEM大厂采用。这款4100T高温计的许多功能都比原先的 Advanced Energy OR4000T 有进一步的改善,新功能也很多,让客户可将制程控制能力和生产力提升至高水平。功能齐备的4100T是一款可轻易取代OR4000T的替代品,让现有的客户可以轻易为系统换代更新。此外,这款高温计也可支援EtherCAT、串联和USB通讯介面。」

由于使用4100T的用户可以同时测量多达4个不同位置的温度,因此执行多点控制功能所不能缺少的控制箱可以进一步减少,这样有助于缩小方案大小,也可节省系统成本。此外,每一通道的读取速度可以高达1kHz,因此热反应会更快,让温度可以更易受控,并确保先进应用的温度更加一致,相关的应用包括快速热处理、雷射退火、原子层沉积以及其他先进的沉积技术。

这款多通道的光纤温度计可按照特殊应用发射可配置波长,因此其准确度、可重复性和可靠性都特别高,而且读取速度也较快,适用于要求极为严格的温度测量工作。传统的热藕合和其他接触式的感测器测量方法有时并不十分适用,例如直接接触会令晶圆受损,也会产生污垢或因为受到热转移效应的影响以致出现测量误差。 4100T光纤温度计可以无需接触相关物体而直接在现场测量温度,准确度在正负1.5℃之内。此外,4100T光纤温度计不但没有因直接接触而可能产生的问题,而且对于某些应用来说,例如,正在移动中的晶圆或正以极高温或较高变温速度(ramp rate)研磨处理中的晶圆,4100T是个理想的解决方案。

關鍵字: 摩尔定律  先进制程  Advanced Energy 
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