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安立知:220 GHz向量网路分析仪让高频晶圆测试一步到位
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2021年06月21日 星期一

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晶圆测试都是在晶圆上透过自动化探针台自动去寻找晶圆上的目标,自动点击以进行量测,因此除了高频率的VNA之外,对探针与探针台的要求也非常高。晶圆测试大厂安立知(Anritsu)推出了新款VNA,可以一路从70KHz扫频到200GHz,克服传统操作必须分频段架设仪器来满足测量200G特性的问题。而安立知的模组将测试频率延伸到220GHz,稳定度也能比传统校正后维持更长的时间,这对于晶圆测试将更有帮助。

安立知推出220GHz向量网路分析仪
左:Anritsu 安立知业务暨技术支援部 经理 林光韦
右:Anritsu 安立知业务暨技术支援部 专案副理 程昭团
安立知推出220GHz向量网路分析仪

Anritsu安立知业务暨技术支援部专案副理程昭团指出,VectorStar ME7838G 宽频向量网络分析仪(VNA),是业界首款能够在单次扫描实现70 kHz至220 GHz量测的VNA。其频率覆盖范围,能让工程师在更广泛的频率范围内更精准及有效地分析设备特性,进而提供准确的设备模型,实现精准模拟优化,缩短设计时间。

VectorStar VNA系统整合了 Anritsu 安立知非线性传输线 (NLTL) 毫米波 (mmWave) 模组,可实现业界最广的单次扫描宽频覆盖以改进设备模组。 220GHz 探针可直接连接毫米波模组,实现精准、稳定的晶圆上量测,进一步避免了同轴连接器在次兆赫频率下的限制。

支援 220GHz 的 ME7838G 具备安立知的VectorStar宽频平台能力,超越单次扫描的传统界限,无需将晶圆探针台从 110 GHz 改造为更高的波导频段。藉由此一先进设计,工程师可在同一片晶圆上测量各种电路,无需从同轴微波 VNA 转移至同轴毫米波 VNA 或波导毫米波 VNA。同时,由于无需进行波导连接,该系统可减少晶圆的量测时间,提高宽频设备的量测精度,并可减少 VNA 重新配置的次数以提升晶圆探针台的成本效益。

ME7838G 满足了在高频毫米波进行晶圆上量测的市场需求,实现更精确的分析设备特性。基于 VectorStar 的宽频系统可从近 DC 至远超出工作频率的设备进行准确的特性分析,使工程师对其设计的系统更有信心,进而实现更精确的模组。

而在安立知推出测试频率达到220GHz的VNA仪器之后,高频测试的关键将回到探针与探针台身上。也就是高频网路分析仪与探针台搭配时,必须能够维持稳定度与更有效的校正方法。而更新一代的高频网路分析仪,也势必将冲击晶圆厂,使其晶圆制程随之更为精进。

關鍵字: VNA  5G  mmWave  安立知 
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