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Asyst发表晶圆厂数据撷取解决方案EIB
【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】 2004年08月10日 星期二
浏览人次:【3419】
半导体制程自动化解决方案业者Asyst发表一项新技术──「设备信息桥(Equipment Information Bridge;EIB)」,该技术藉由装置一个可同时接触晶圆厂应用程序并撷取数据的设备模型,来提供晶圆厂最新且实时的数据。
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鄭妤君
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