工研院與其新創立的兆晟奈米科技，將於本周五（24日）正式進行半導體檢測技術-「SuperSizer」的簽約儀式，意味著兆晟奈米科技將正式進軍半導體檢測市場，為半導體產業提供高階測試解決方案。
這項名為「SuperSizer」的技術，也就是在今年國際半導體展（SEMICON Taiwan）時，工研院所展示的「新世代溶液中粒子監測器」，它將氣膠粒子量測技術應用於溶液中奈米粒子的監控，突破了現有技術40 nm的偵測極限，可於線上連續監測3nm-1000nm的溶液粒子大小與濃度。
此設備不僅入圍美國研發大獎R&D 100，且已獲台積電訂單。
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