我國積極發展本土IC與平面顯示器（FPD）設備產業，目前已有顯著成果；在經濟部工業局長親自率團赴日招商之後，已有東京電子、日本真空、芝浦及Harison東芝等至少四家業者，有意來台投資、擴大投資或技術合作。

據工商時報報導，我國半導體及平面顯示器設備年採購商機超過2000億元以上，但國內自給率僅約5％至7％，目前以相關製程設備產業最欠缺；我國計畫在2006年提高自給率到25％，日前經濟部工業局長陳昭義並親自率團赴日招商，積極爭取日本設備廠商來台投資。

目前正評估台灣及中國大陸市場發展潛力的東京電子，已初步同意擴大在台的服務功能，並考慮來台投資的可能性。而在民國86年曾計畫來台投資的日本真空，因台灣合作廠商財務困難，等了三年未果，只好到南韓投資，成為當地FPD設備第一大廠；目前該公司來台投資設廠意願相當高，將以FPD為主、IC為輔。

此外在陳昭義見證下，我國均豪精密與日本芝浦株式會社簽約技術合作，項目有IC晶黏機及FPD設備，將可明顯提升我國設備自給率。