帳號:
密碼:
最新動態
產業快訊
CTIMES/SmartAuto / 產品 /
衝電氣(OKI)再次向安森美半導體歐洲工廠提供排氣處理設備
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2014年09月16日 星期二

瀏覽人次:【4220】

衝電氣集團(OKI)旗下的提供可靠性評估和環保技術服務的衝工程技術株式會社(社長:淺井裕,總公司:日本東京都練馬區,以下簡稱“OEG”)向半導體生產廠商安森美半導體(ON Semiconductor)公司(社長:Keith D. Jackson,總公司:美國亞利桑那州鳳凰城)歐洲工廠再次提供常壓CVD※1生產設備專用排氣處理設備“KGT-3MM-AP”。該設備採用不易堵塞的獨特構造的過濾器,實現長期免維護的運營模式,可為半導體生產廠商提高生產效率和保護環境作貢獻。

Power FET※2和IGBT※3等功率器件(power device)在製造過程中,半導體絕緣膜的生產離不開常壓CVD生產設備。但該生產設備要使用對人體有害的氣體,所以必須進行排氣處理。

OEG的排氣處理設備“KGT-3MM-AP”採用不容易發生堵塞的特殊不銹鋼過濾器,既提高了有害氣體和微粒的處理能力,又可以長期免維護運營,可減輕設備維護人員的負擔。另外,該設備還安裝有微壓計,通過排氣扇變頻控制確保排氣壓力保持穩定,從而保證長期穩定運行。

2009年,作為天谷製作所(社長:吉岡獻太郎,總公司:日本埼玉縣越谷市)生產的連續常壓CVD生產設備所配備的排氣處理設備,OEG首次向安森美半導體提供了“ KGT-3MM-AP”。該設備投入使用後,連續作業無故障,保證了CVD膜的穩定生產,得到安森美半導體的好評,再次被該公司歐洲工廠採用。 OEG此次提供的設備,在原有基礎上新增加了設備自動恢復作業功能,省去了以往常壓CVD生產設備維護時造成設備內部壓力急劇變化而要手動重新啟動排氣處理設備的作業,提高了客戶的生產效率。

OEG今後將繼續在歐洲和東南亞開拓市場。

【KGT-3MM-AP規格】

產品名稱:常壓CVD生產設備專用排氣處理設備

KGT-□MM-AP (□:1、3、10、特殊型號)

處理能力:□m3/min (□:1、3、10、特殊規格)

壓力控制:-0.15 ~ -0.40KPa範圍內的恆定負壓,或,保持指定負壓

用途:常壓CVD、太陽能電池、晶片製造

關鍵字: 安森美半導體  衝電氣 
相關產品
安森美半導體推出工業電機驅動整合方案 涵蓋轉換器、逆變器、功率因數校正模組
安森美半導體推出智慧拍攝相機平台 實現自動圖像識別
安森美半導體推出dToF光學雷達平台 提供工業測距現成的設計
安森美半導體影像感測技術 用於速霸陸新一代ADAS平台
安森美半導體推出900V和1200V SiC MOSFET 用於高要求高增長應用
  相關新聞
» 工研院秀全球最靈敏振動感測晶片 可測10奈米以下振動量
» 安立知以全方位無線通訊方案引領探索6G時代
» 再生能源成長創新高 但發展程度並不平均
» 意法半導體突破20奈米技術屏障 提升新一代微控制器成本競爭力
» Pure Storage攜手NVIDIA加快企業AI導入 以滿足日益成長的需求
  相關文章
» 使用Microchip Inductive Position Sensor(電感式位置感測器)實現高精度馬達控制
» 以霍爾效應電流感測器創新簡化高電壓感測
» ESG趨勢展望:引領企業邁向綠色未來
» 智慧家居大步走 Matter實現更好體驗與可靠連結
» 車載軟體數量劇增 SDV硬體平台方興未艾

刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3  v3.20.2048.54.87.17.177
地址:台北數位產業園區(digiBlock Taipei) 103台北市大同區承德路三段287-2號A棟204室
電話 (02)2585-5526 #0 轉接至總機 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw