綜觀MEMS系統整合與挑戰
作者\陳淑芳
MEMS朝向高度系統整合發展將是不變的趨勢。在聚集化MEMS的發展趨勢下,MEMS技術將可結合半導體產業豐富的資源,獲得效能、成本、資源與產品差異化等優勢,而透過SoC的異質化整合技術,將為MEMS系統整合帶來更大的發展空間。