推動2D/3D IC升級 打造絕無僅有生醫感測晶片
2022年IEEE VLSI研討會imec亮點技術回顧
作者\愛美科
隨著半導體先進製程推進到2奈米(nm)之後,晶片微縮電路的布線與架構,就成為性能與可靠度的發展關鍵,而imec的論文則為2奈米以下的晶片製程找到了一條兼具可行性與可靠度的道路。
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