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討論新聞主題﹕KLA-Tencor以全新量測系統擴充5D圖案控制解決方案

新聞 提要
為了因應先進積體電路製程挑戰，KLA-Tencor近期推出兩款量測設備，可支援16奈米(含)以下尺寸積體電路元件的研發和生產：Archer 500LCM和SpectraFilm LD10。Archer 500LCM overlay量測設備在提升良率的所有階段提供了準確的overlay error回饋，可協助晶片製造商解決與patterning創新技術，例如multi-patterning和 spacer pitch splitting相關的overlay問題。SpectraFilm LD10 薄膜量測設備則針對 FinFETs、3D NAND 和其他先進元件製程中的薄膜層，進行穩定可靠的厚度與應力的驗證和監控。新設備為 KLA-Tencor的 5D Patterning Control Solution的關鍵產品，可透過對半導體廠整廠製程的表徵和監控來推動最佳化patterning結果

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