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討論新聞主題﹕Advanced Energy全新射頻電源供應器 滿足新一代蝕刻製程需求

新聞 提要
電源轉換、測量和控制系統解決方案開發商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射頻(RF)電源供應器。新產品推出之後，該公司旗艦產品Paramount RF電源供應器系列將會有更多型號可供選擇。 Advanced Energy的電漿製程設備電源系統，適用於半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和電漿薄膜製程設備，Paramount HP 10013沿用先進的電漿製程電源技術，且再進一步提升效能。 例如：Paramount HP 10013可確保Paramount 13.56MHz平台提供高達10kW的輸出功率，這樣的好處是，能以較低的平均功率提供高能脈衝，確保脈衝功率的準確性和可重複性

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