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SEMICON Chin展先进制程解方 资腾PVA刷轮有效提升良率 (2026.03.24) 迎接埃米时代对晶圆洁净与先进制程稳定性的高度要求,资腾科技在今年3月25~27日举行的SEMICON China展示各项先进制程解决方案。其中CMP(Chemical Mechanical Polishing,化学机械研磨)超洁净空气PVA刷轮,强调可有效降低微粒与制程残留,缩短预清洁时间,并减少晶圆空片用量,全面强化先进制程与封装良率 |
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SEMICON Chin展先进制程解方 资腾PVA刷轮有效提升良率 (2026.03.24) 迎接埃米时代对晶圆洁净与先进制程稳定性的高度要求,资腾科技在今年3月25~27日举行的SEMICON China展示各项先进制程解决方案。其中CMP(Chemical Mechanical Polishing,化学机械研磨)超洁净空气PVA刷轮,强调可有效降低微粒与制程残留,缩短预清洁时间,并减少晶圆空片用量,全面强化先进制程与封装良率 |
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