CTIMES- MEMS感測器在汽車業的創新應用 :

MEMS感測器在汽車業的創新應用

汽車感測市場需求增溫

作者：Vishal GOYAL,Marco FERRARESI | 2013年11月26日星期二

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汽車電子是全球半導體市場中最受追捧的應用市場之一，汽車技術創新是影響汽車差異化和消費者購車的最重要因素。微機電系統（MEMS）也因此成為汽車市場成長最快的半導體晶片之一，其中，加速度計、陀螺儀和壓力感測器占百分比最大。

圖一 : 典型的MEMS 產品是由兩個IC組成的SIP元件，其中第一個IC檢測目標參數，並將其轉換成等效電容，而第二個IC則將等效電容轉換成電壓或I2C數位訊號。（圖片來源:ST）

MEMS在汽車市場的新應用

相較於IC技術只利用矽的電性質，MEMS則利用矽的電和機械兩種性質。MEMS的核心結構不是閘極－源極，而是完全由矽製成的微型機械結構。這些結構包括能夠移動的質塊、彈簧、腔室、阻尼器等。
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