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搜尋「OEE」，共 81 筆

透過自動高階補償改善疊對控制 (2008.05.05)

隨著關鍵尺寸逐年縮小，疊對預算變得越來越緊縮。先進刻蝕機的成本成為在非關鍵層上使用最先進的掃描式曝光機的阻礙，導致在不同的層使用不同的刻蝕機；這種做法通常被稱為「混搭」...