精密儀器發展中心近日宣佈成功開發出奈米製程微流量校正系統，可精確校正各式真空儀器及微小氣體流量計所使用的標準檢校儀器，應用範圍相當廣。國科會精密儀器發展中心表示，美國半導體氣體傳輸系統製造廠 Wolfe En-gineering總裁John Wolfe曾表示，這套系統可解決下一世代微小流量控制儀器的校正問題，有意願與之合作。
精儀中心開發的微流量校正系統，包括雙腔式流量產生器及以孔口板區分上下腔的主腔體兩個次系統，應用範圍包括離子、冷陰極、電容式、熱偶式、精密波爾登、轉球黏滯等真空計及漏氣率標準件、微流量控制器、殘氣分析器等。
