Matrix，您的終極OPC (2014.10.17)

製程尺寸的縮短會帶來諸多影響，其中之一即傳統的OPC將無法在合理的回應時間內實現高圖像真實性。我們對此進行研究並提出了一個解決方案，將其命名為Matrix OPC。 首先，我們來探究應用於高階製程時，傳統的光學近似效應修正（OPC）存在的問…