KLA-Tencor將檢測工具擴展至量測領域 (2007.07.13)

KLA-Tencor推出SURFmonitor組件，它使得Surfscan SP2非圖樣表面檢測系統突破了傳統的缺陷檢測藩籬，也具備監控製程變化與趨勢的能力。SURFmonitor系統的設計目的是測量晶片或平薄膜表面形態的變化，而它們與大量…