台灣CMOS MEMS技術發展與現況
作者\邱奕翔
CMOS-MEMS相較於過去的CMOS而言,更為複雜,從國外廠商大多均使用自有半導廠生產可得知。CMOS-MEMS要從設計、生產、製程處理、封裝、測試從上而下的成功整合,其難度絕對遠大於過去的CMOS專業分工。台灣晶圓廠應整合既有相關產業資源,並扶植台灣長期投入開發且已有明顯研發成果的微機電IC設計公司完成產品大規模量產的製程規劃,使之成為台灣CMOS-MEMS產業發展的火車頭。