亞東工業氣體碳捕捉設備落成 助力半導體先進製程

亞東工業氣體於桃園觀音廠落成碳捕捉設備，透過二氧化碳回收製程，可提升現有之電子級氫氣產量約 20%，並回收超過90%製程中產生的二氧化碳，回收的二氧化碳經過純化，將供應給半導體客戶的先進製程使用。本套設備可透過製程效率的提升，為半導體客戶的先進製程提供高品質的產品，並透過製程效率的優化，落實亞東的減碳承諾。

圖一 : 亞東工業氣體二氧化碳回收設備啟用典禮

亞東觀音廠生產純度 99.9995% 以上的電子級氫氣供應半導體與面板產業。而透過此套碳捕捉設備的落成，亞東不僅可大幅度提升氫氣產量，更回收超過九成的二氧化碳，再透過純化製程，生產高純度二氧化碳，供應半導體先進製程使用。