根據美國半導體設備暨材料協會（SEMI）與市場調查機構VLSI，日前發表的2002、2003年半導體設備市場預估報告指出，2002年將是半導體設備的景氣谷底，而市場將會在2003年復甦。

SEMI是於日本SEMICON 展中，公佈最新的半導體設備市場調查報告，指出因為半導體產能在需求成長緩慢的狀況下，仍處於過度供給狀況，因此今年全年晶圓廠平均產能利用率只維持在五成至六成之間，半導體廠也大幅降低資本支出，使得2002年半導體設備市場僅達189億美元，較2001年的280億美元規模衰減32％。

SEMI指出，全球各半導體廠2002年均致力於製程技術微縮工程，而至今已獲得很大的進展，如0.13微米製程良率已達到平穩量產標準，東芝、英特爾、日立製作所等部份業者，甚至已完成奈米級製程技術的研發；而2003年半導體廠逐步導入新製程，更換光罩步進機（Stepper）、光學微影設備（Lithography）等支出，將可推動半導體設備市場復甦。

SEMI預估，2003年全球設備市場總產值可達218億美元，較今年成長15％，而2004年更可有21％的成長，達264億美元規模。