Qcept提供晶圓快速線上非光學可視性缺陷偵測 (2008.06.13)

Qcept的ChemetriQ 3000提供整片晶圓的快速線上非光學可視性缺陷(NVDs)偵測，包括了有機、無機、金屬污染、製程導致的電荷、水漬或其他的非光學可視性缺陷。NVDs無法以光學檢測系統探測，在尖端晶圓廠中，佔了所有缺陷的30%。…