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我挺摩尔定律!

立体晶体管促使22奈米处理器问世

根据摩尔定律,晶体管的密度大约每两年就会倍增,功能与效能攀升、成本则随之下滑。在过去40多年来,摩尔定律已成为半导体产业的经营圭臬,为了避免微缩过程遭遇物理极限,半导体产业无不致力于研发新的材料。2007年起,45奈米、32奈米制程开始使用高介电金属闸极(High-K Metal Gate),取代先前的硅煮应变硅晶(SiGe Strained Silicon)。而最新的22奈米制程,就是采用立体三闸晶体管(3-D Tri-Gate transistors),来对抗物理极限。


增加密度秘方:晶体管垂直排列

《图一 立体三闸晶体管结构图。 》
《图一 立体三闸晶体管结构图。 》

一如其名,立体三闸晶体管技术的最大特点,就是将原先的平面闸极改为硅晶薄片,垂直附在硅基板的表面。Intel资深研究院士Mark Bohr表示,传统平面晶体管只有在顶端处的一个闸极,改成薄片后,则可在顶端之外的两侧各再增置一个闸极。由于晶体管薄片为垂直排列,彼此间的距离得以缩小、藉以提升密度,从根本面破除摩尔定律在2D晶体管不断微缩所面对的极限。
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