吉時利儀器（Keithley）於日前宣佈，針對S530參數測試系統的進行數個更新；S530參數測試系統目前廣泛用於半導體產業。這些更新包括增加吉時利最新的高處理量切換主機、協助完整切換訊號，實現更佳的低阻抗量測準確性的探針卡全系列凱文四線式量測法，保護靈敏系統儀器免受高壓損壞的新硬體防護模組，以及一個完整的探針系統規格和診斷工具組合。
S530系統被設計為可應用在生產參數測試環境中各式產品組合、或是廣泛應用的彈性和測試開發的速度尤其重要的地方。S530測試系統所採用的成熟電源量測技術和高傳真訊號通道(high fidelity signal pathways)，確保其領先業界的量測準確度和可重複性。
目前有兩款不同的S530系統可供選擇：低電流量測版本是針對次臨界漏電流(sub-threshold leakage)、閘極漏電流(gate leakage)等特性量測；高電壓版本是提供氮化鎵、碳化矽和矽 LDMOS功率元件所要求的崩潰及洩漏測試(breakdown and leakage test)。S530低電流系統(具有2至8 個SMU通道)提供sub-picoamp量測解析度和到探針端所有路徑的低電流防漏機制。S530高壓系統(具有3至7 個SMU通道)包含一台電源量測單元(SMU)，在20mA下可輸出高達1000V(最大功率20W)功率。S530系統經適當配置，可達成製程控制監控、製程可靠性監控及元件特性分析中所需的所有直流和C-V量測應用。
