肖特集团,Inkron公司,EV集团(EVG)和光波导元件厂商波光(WaveOptics)在2020美国西部光电展上展示了全球首个在玻璃基板上制成的折射率为1.9、结合纳米树脂结构的波导片。该波导片的生产基於一个300mm晶圆上完成,此晶圆现已可批量生产。
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作为国际领先的高科技集团和光学玻璃先驱,德国肖特现推出折射率为1.9,直径为300mm的肖特RealView高折射率玻璃晶圆。此晶圆的批量生产为下一代AR波导片的量产提供了基础,在保证AR所需的极高精度标准的同时,单位成本更低。
纳米技术公司Inkron所生产的树脂折射率为1.9,凭借全集成和体量验证的EVG HERCULES NIL纳米压印工艺平台,该树脂可在单个300 mm SCHOTT RealView1. 9晶圆上压印多达24个波导片。此产品融合了高性能波导光学设计公司WaveOptics提供的先进的波导结构,肖特的专业光学玻璃制造经验,Inkron的创新树脂配方与EVG的标准纳米压印工艺(NIL)。
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