英國威格斯深耕台灣半導體產業供應鏈

VICTREX PEEK聚合物、VICOTE塗料和APTIV薄膜等高性能材料的全球製造商英國威格斯公司(Victrex plc)宣佈，將於台灣半導體設備暨材料展(SEMICON Taiwan 2008)發表其應用於半導體產業的產品與技術成果。展出內容包括特別為半導體產業所開發的VICTREX T-系列、VICTREX ESD PEEK產品以及與多家半導體零部件/設備製造商合力開發的多款基於VICTREX PEEK的高階半導體應用。

為更貼近顧客的需求與因應產業內日益嚴苛的作業環境所帶來的挑戰，威格斯特別推出兩款符合半導體產業對材料要求的新型產品。VICTREX T-系列聚合物(TF-60C)，以VICTREX PEEK、Celazole PBI以及碳纖維強化技術所生產的專有產品。這款新型的碳纖維產品具有高強度、高模數、低潛變等優異特性，特別適用於要求極為嚴苛的半導體/電子產業應用，如旋轉塗佈(Spin coating)、蝕刻(etching)及PVD製程中的焊接工具、卡匣、晶圓輸送以及泵浦元件等。另外，靜電產生是半導體製程中出現的主要問題之一，對晶圓製程良率有直接的影響。除了基本的耐磨耗性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，VICTREX ESD PEEK特別添加抗靜電配方，可大幅減少摩擦產生的靜電進而避免造成電路損壞。產品系列包括 ESD 101、ESD 102、ESD 103以及ESD 201，表面阻抗值皆為106至109 ohm/sq，可依對於耐磨耗性、吸濕性與氣體釋放(outgassing)特性的不同要求選擇適用的產品。

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