蔚華與南方科技合作非破壞性SiC檢測系統 搶攻化合物半導體商機

蔚華科技與旗下數位光學品牌南方科技合作，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。

圖一 : 左起：蔚華科技總經理 楊燿州、蔚華科技董事長 秦家騏、光電科技工業協進會董事長 邰中和、技嘉科技董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理 王嘉業

需求爆發 SiC基板與元件供不應求 唯KOH是高成本痛點

在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。
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